Φορτώνει......
Aluminum nitride on titanium for CMOS compatible piezoelectric transducers
Piezoelectric materials are widely used for microscale sensors and actuators but can pose material compatibility challenges. This paper reports a post-CMOS compatible fabrication process for piezoelectric sensors and actuators on silicon using only standard CMOS metals. The piezoelectric properties...
Αποθηκεύτηκε σε:
| Κύριοι συγγραφείς: | , , , , |
|---|---|
| Μορφή: | Artigo |
| Γλώσσα: | Inglês |
| Έκδοση: |
2010
|
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC2843000/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/20333316 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/20/2/025008 |
| Ετικέτες: |
Προσθήκη ετικέτας
Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!
|