Design and Simulation of A Novel Piezoelectric AlN-Si Cantilever Gyroscope

A novel design of piezoelectric aluminum nitride (AlN)-Si composite cantilever gyroscope is proposed in this paper. The cantilever is stimulated to oscillate in plane by two inverse voltages which are applied on the two paralleled drive electrodes, respectively. The whole working principles are dedu...

תיאור מלא

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
Main Authors: Jian Yang, Chaowei Si, Fan Yang, Guowei Han, Jin Ning, Fuhua Yang, Xiaodong Wang
פורמט: Artigo
שפה:Inglês
יצא לאור: MDPI AG 2018-02-01
סדרה:Micromachines
נושאים:
microelectromechanical systems (MEMS)
aluminum nitride
piezoelectric effect
cantilever
gyroscope
simulation
גישה מקוונת:http://www.mdpi.com/2072-666X/9/2/81
תגים: הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!

פריטים דומים