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Enhancing sensitivity in atomic force microscopy for planar tip-on-chip probes

Abstract We present a new approach to tuning-fork-based atomic force microscopy for utilizing advanced “tip-on-chip” probes with high sensitivity and broad compatibility. Usually, such chip-like probes with a size reaching 2 × 2 mm2 drastically perturb the oscillation of the tuning fork, resulting i...

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Detalhes bibliográficos
Main Authors: H. Tunç Çiftçi, Michael Verhage, Tamar Cromwijk, Laurent Pham Van, Bert Koopmans, Kees Flipse, Oleg Kurnosikov
Formato: Artigo
Idioma:Inglês
Publicado em: Nature Publishing Group 2022-05-01
Colecção:Microsystems & Nanoengineering
Acesso em linha:https://doi.org/10.1038/s41378-022-00379-x
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