CLEANING AND SPUTTERING USING PLANAR ACOUSTOPLASMA MAGNETRON

The paper describes the obtained experimental results for a planar acoustoplasma magnetron. The small radius of the anode loopallows focusing and accelerating the ionic component of the sprayed material.Argon was used as a buffer gas. The characteristics of the magnetron in case of direct current su...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: A.S. Abrahamyan, A.H. Mkrtchyan, V.V. Nalbandyan, H.T. Hovhannisyan, R.Yu. Chilingaryan, A.S. Hakobyan, P.H. Mossoyan
التنسيق: Artigo
اللغة:Inglês
منشور في: Tomsk Polytechnic University 2018-03-01
سلاسل:Resource-Efficient Technologies
الموضوعات:
magnetron discharge
acoustoplasma
sputtering technologies
الوصول للمادة أونلاين:http://reffit.tech/index.php/res-eff/article/view/197/183
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة