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Semiconducting p-Type Copper Iron Oxide Thin Films Deposited by Hybrid Reactive-HiPIMS + ECWR and Reactive-HiPIMS Magnetron Plasma System

A reactive high-power impulse magnetron sputtering (r-HiPIMS) and a reactive high-power impulse magnetron sputtering combined with electron cyclotron wave resonance plasma source (r-HiPIMS + ECWR) were used for the deposition of p-type CuFe<i><sub>x</sub></i>O<i><sub...

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書誌詳細
主要な著者: Zdenek Hubička, Martin Zlámal, Jiri Olejníček, Drahoslav Tvarog, Martin Čada, Josef Krýsa
フォーマット: Artigo
言語:Inglês
出版事項: MDPI AG 2020-03-01
シリーズ:Coatings
主題:
オンライン・アクセス:https://www.mdpi.com/2079-6412/10/3/232
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