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Semiconducting p-Type Copper Iron Oxide Thin Films Deposited by Hybrid Reactive-HiPIMS + ECWR and Reactive-HiPIMS Magnetron Plasma System
A reactive high-power impulse magnetron sputtering (r-HiPIMS) and a reactive high-power impulse magnetron sputtering combined with electron cyclotron wave resonance plasma source (r-HiPIMS + ECWR) were used for the deposition of p-type CuFe<i><sub>x</sub></i>O<i><sub...
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主要な著者: | , , , , , |
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フォーマット: | Artigo |
言語: | Inglês |
出版事項: |
MDPI AG
2020-03-01
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シリーズ: | Coatings |
主題: | |
オンライン・アクセス: | https://www.mdpi.com/2079-6412/10/3/232 |
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