A Study on Increasing Sensitivity of Rectangular Microcantilevers Used in Biosensors

This study proposes a new microcantilever design with a rectangular hole at the fixed end of the cantilever that is more sensitive than conventional ones. A commercial finite element analysis software ANSYS is used to analyze it. The Stoney equation is first used to calculate the surface stress indu...

Szczegółowa specyfikacja

Zapisane w:
Opis bibliograficzny
Główni autorzy: Chongdu Cho, Mohd. Zahid Ansari
Format: Artigo
Język:Inglês
Wydane: MDPI AG 2008-11-01
Seria:Sensors
Hasła przedmiotowe:
Surface stress
Biosensor
Microcantilever
Stoney equation
Sader equation
Dostęp online:http://www.mdpi.com/1424-8220/8/11/7530/
Etykiety: Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!

Podobne zapisy