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Heterogeneous Integration of Metal Oxides—Towards a CMOS Based Multi Gas Sensor Device
A worldwide unique CMOS based chemical sensor device comprising an array of 8 microhotplates (µhps) for a total of 16 chemical sensors has been fabricated (Figure 1). [...]
保存先:
| 主要な著者: | , , , , , , , , , , , , , , |
|---|---|
| フォーマット: | Artigo |
| 言語: | Inglês |
| 出版事項: |
MDPI AG
2019-06-01
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| シリーズ: | Proceedings |
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | https://www.mdpi.com/2504-3900/14/1/5 |
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