Investigation into Mass Loading Sensitivity of Sezawa Wave Mode-Based Surface Acoustic Wave Sensors

In this work mass loading sensitivity of a Sezawa wave mode based surface acoustic wave (SAW) device is investigated through finite element method (FEM) simulation and the prospects of these devices to function as highly sensitive SAW sensors is reported. A ZnO/Si layered SAW resonator is considered...

Szczegółowa specyfikacja

Zapisane w:
Opis bibliograficzny
Główni autorzy: N. Ramakrishnan, R. Parthiban, Sawal Hamid Md Ali, Md Shabiul Islam, Ajay Achath Mohanan
Format: Artigo
Język:Inglês
Wydane: MDPI AG 2013-02-01
Seria:Sensors
Hasła przedmiotowe:
surface acoustic wave devices
Sezawa wave mode
mass loading effect
sensors
FEM simulation
Dostęp online:http://www.mdpi.com/1424-8220/13/2/2164
Etykiety: Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!

Podobne zapisy