Investigation into Mass Loading Sensitivity of Sezawa Wave Mode-Based Surface Acoustic Wave Sensors

In this work mass loading sensitivity of a Sezawa wave mode based surface acoustic wave (SAW) device is investigated through finite element method (FEM) simulation and the prospects of these devices to function as highly sensitive SAW sensors is reported. A ZnO/Si layered SAW resonator is considered...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: N. Ramakrishnan, R. Parthiban, Sawal Hamid Md Ali, Md Shabiul Islam, Ajay Achath Mohanan
التنسيق: Artigo
اللغة:Inglês
منشور في: MDPI AG 2013-02-01
سلاسل:Sensors
الموضوعات:
surface acoustic wave devices
Sezawa wave mode
mass loading effect
sensors
FEM simulation
الوصول للمادة أونلاين:http://www.mdpi.com/1424-8220/13/2/2164
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة