Improving Thickness Uniformity of Amorphous Oxide Films Deposited on Large Substrates by Optical Flux Mapping
In this study, three amorphous oxide thin films are prepared by an electron beam evaporation combined with ion-assisted deposition technique. With the aid of optical flux mapping method, thin film thickness distribution with good uniformity can be obtained by appropriate coating masks. Three metal o...
சேமிக்கப்பட்டது:
| முதன்மை ஆசிரியர்கள்: | , |
|---|---|
| வடிவம்: | Artigo |
| மொழி: | Inglês |
| வெளியிடப்பட்டது: |
MDPI AG
2022-11-01
|
| தொடர்: | Applied Sciences |
| பொருள்கள்: | |
| ஆன்லைன் அணுகல்: | https://www.mdpi.com/2076-3417/12/23/11878 |
| குறிச்சொற்கள்: |
டாக்ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!
|