QR குறியீடு

Uncooled, broadband terahertz bolometers using SOI MEMS beam resonators with piezoresistive readout

Abstract Terahertz (THz) detectors using MEMS resonators have attracted great interests owing to their high sensitivity, rapid response, and room-temperature operation capability. For easy integration with CMOS circuits, silicon (Si) based MEMS detectors are highly desirable. Here we report an uncoo...

முழு விளக்கம்

சேமிக்கப்பட்டது:
முதன்மை ஆசிரியர்கள்: Ya Zhang, Kazuki Ebata, Mirai Iimori, Qian Liu, Zihao Zhao, Ryotaro Takeuchi, Hua Li, Kazusuke Maenaka, Kazuhiko Hirakawa
வடிவம்: Artigo
மொழி:Inglês
வெளியிடப்பட்டது: Nature Publishing Group 2025-07-01
தொடர்:Microsystems & Nanoengineering
ஆன்லைன் அணுகல்:https://doi.org/10.1038/s41378-025-00996-2
குறிச்சொற்கள்: குறிச்சொல்லை சேர்க்கவும்
டாக்‌ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!

ஒத்த வளங்கள்