一种测量圆柱腔内壁介质薄膜厚度的方法
针对谐振腔传感器内壁水膜和盐垢会降低湿度测量精度的问题,文章提出一种用于测量圆柱腔内壁介质薄膜厚度的方法。此方法基于介质微扰法的原理,使用双曲余弦开缝形谐振腔作为传感器,工作于TE<sub>111</sub>模式来测量介质薄膜厚度。以水膜为例,理论推导了谐振腔水膜厚度与谐振频率的关系,并通过仿真分析了TE<sub>111</sub>模式准确测量水膜的可行性;采用矢量场方程的方法建立了TE<sub>111</sub>模式下谐振腔端面电流密度分布线的数学模型,并设计了双曲余弦开缝形谐振腔传感器。仿真结果表明:该谐振腔的电磁特性、辐射特性和流动特性均良好,电磁泄露率基本为0,取样误差为-1.25%,...
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| Principais autores: | , |
|---|---|
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Chinês |
| Publicado em: |
《光通信研究》编辑部
2020-01-01
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| coleção: | Guangtongxin yanjiu |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | http://www.gtxyj.com.cn/thesisDetails#10.13756/j.gtxyj.2020.02.011 |
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