A Novel Gyroscopic Actuation Concept for 2D MEMS Micromirrors
In this paper we present a novel approach to achieve indirect quasistatic deflection of 2D MEMS scanning micromirrors by solely resonant excitation utilizing gyroscopic effects. Therefore the micromirror is set to oscillate in its mirror plane additionally to its primary resonant oscillation with a...
Պահպանված է:
| Հիմնական հեղինակներ: | , , , , |
|---|---|
| Ձևաչափ: | Artigo |
| Լեզու: | Inglês |
| Հրապարակվել է: |
MDPI AG
2017-08-01
|
| Շարք: | Proceedings |
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | https://www.mdpi.com/2504-3900/1/4/546 |
| Ցուցիչներ: |
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|