Código QR (código de barras bidimensional)

True 3D Nanometrology: 3D-Probing with a Cantilever-Based Sensor

State of the art three-dimensional atomic force microscopes (3D-AFM) cannot measure three spatial dimensions separately from each other. A 3D-AFM-head with true 3D-probing capabilities is presented in this paper. It detects the so-called 3D-Nanoprobes CD-tip displacement with a differential interfer...

תיאור מלא

שמור ב:
Principais autores: Jan Thiesler, Thomas Ahbe, Rainer Tutsch, Gaoliang Dai
פורמט: Artigo
שפה:Inglês
יצא לאור: MDPI AG 2021-12-01
סדרה:Sensors
נושאים:
3D nanometrology
atomic force microscopy (AFM)
critical dimension AFM (CD-AFM)
true 3D-AFM
3D sensitivity
3D-Nanoprobe
גישה מקוונת:https://www.mdpi.com/1424-8220/22/1/314
תגים: הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!

פריטים דומים