Effects of Annealing Temperature on the Structural, Surface, and Optical Properties of PZT Thin Films Deposited by Sputtering on Al₂O₃ Substrates

This study investigates the structural, morphological, and optical properties of PZT (lead zirconate titanate) thin films deposited on Al2O3 substrates via RF sputtering, with a particular focus on the effects of annealing temperature. The films were annealed at 500°C, 600°C, and 700&#...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية

المؤلفون الرئيسيون:	M. Ozden, O. Coban, T. Karacali
التنسيق:	Artigo
اللغة:	Inglês
منشور في:	IEEE 2025-01-01
سلاسل:	IEEE Access
الموضوعات:	Annealing temperature lead-zirconate-titanate PZT thin film RF sputtering
الوصول للمادة أونلاين:	https://ieeexplore.ieee.org/document/11203970/
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!