Simulation-Based Analysis on Operational Control of Batch Processors in Wafer Fabrication
In semiconductor wafer fabrication (wafer fab), wafers go through hundreds of process steps on a variety of processing machines for electrical circuit building operations. One of the special features in the wafer fabs is that there exist batch processors (BPs) where several wafer lots are processed...
சேமிக்கப்பட்டது:
| முதன்மை ஆசிரியர்கள்: | , |
|---|---|
| வடிவம்: | Artigo |
| மொழி: | Inglês |
| வெளியிடப்பட்டது: |
MDPI AG
2020-08-01
|
| தொடர்: | Applied Sciences |
| பொருள்கள்: | |
| ஆன்லைன் அணுகல்: | https://www.mdpi.com/2076-3417/10/17/5936 |
| குறிச்சொற்கள்: |
டாக்ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!
|