The Design and Optimization of a Highly Sensitive and Overload-Resistant Piezoresistive Pressure Sensor
A piezoresistive pressure sensor with a beam-membrane-dual-island structure is developed for micro-pressure monitoring in the field of aviation, which requires great sensitivity and overload resistance capacity. The design, fabrication, and test of the sensor are presented in this paper. By analyzin...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
MDPI AG
2016-03-01
|
| Loạt: | Sensors |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | http://www.mdpi.com/1424-8220/16/3/348 |
| Các nhãn: |
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|