SPECTROSCOPY STUDY OF PLASMAS IN PAPVD AND PACVD PROCESSES USING NITROGEN AS FILLED GAS IN THE COATINGS PRODUCTION
In this work a study of plasma characteristics used in the production of polymeric coatings by PACVD techniques (Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition) using Glow Discharge, and TiN coatings produced by means of PAPVD (Plasma Assisted Physical Vapor Deposition) using a pulsed arc discharge was c...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
Universidad Nacional de Colombia
2013-01-01
|
| Loạt: | Momento |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://revistas.unal.edu.co/index.php/momento/article/view/41551 |
| Các nhãn: |
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|