Open-Path Cavity Ring-Down Spectroscopy for Simultaneous Detection of Hydrogen Chloride and Particles in Cleanroom Environment

The present study addresses advanced monitoring techniques for particles and airborne molecular contaminants (AMCs) in cleanroom environments, which are crucial for ensuring the integrity of semiconductor manufacturing processes. We focus on quantifying particle levels and a representative AMC, hydr...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية

المؤلفون الرئيسيون:	Muhammad Bilal Khan, Christian L’Orange, Cheongha Lim, Deokhyeon Kwon, Azer P. Yalin
التنسيق:	Artigo
اللغة:	Inglês
منشور في:	MDPI AG 2024-08-01
سلاسل:	Sensors
الموضوعات:	airborne molecular contaminant AMC hydrogen chloride HCl particles cavity ring-down spectroscopy
الوصول للمادة أونلاين:	https://www.mdpi.com/1424-8220/24/17/5611
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!