Diagnostics of dusty plasma properties in planar magnetron sputtering device

The effect of Al dust particles on glow discharge regions, discharge voltage, discharge current, plasma potential, floating potential, electron density and electron temperature in planar magnetron sputtering device has been studied experimentally. Four cylindrical Langmuir probes were employed to m...

Szczegółowa specyfikacja

Opis bibliograficzny

1. autor:	Qusay A. Abbas
Format:	Artigo
Język:	Inglês
Wydane:	University of Baghdad 2019-02-01
Seria:	Iraqi Journal of Physics
Hasła przedmiotowe:	Planar magnetron, Dusty Plasma, Al dusts grain, Electric Discharge, Longmuir probe.
Dostęp online:	https://ijp.uobaghdad.edu.iq/index.php/physics/article/view/285
Etykiety:	Dodaj etykietę Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!