Fast Fabrication of Complex Surficial Micro-Features Using Sequential Lithography and Jet Electrochemical Machining

This paper presents fabrication of complex surficial micro-features employing a cross-innovative hybrid process inspired from lithography and Jet-ECM. The process is referred here as mask electrolyte jet machining (MEJM). MEJM is a non-contact machining process which combines high resolution of lith...

Mô tả đầy đủ

Chi tiết về thư mục

Những tác giả chính:	Ming Wu, Krishna Kumar Saxena, Zhongning Guo, Jun Qian, Dominiek Reynaerts
Định dạng:	Artigo
Ngôn ngữ:	Inglês
Được phát hành:	MDPI AG 2020-10-01
Loạt:	Micromachines
Những chủ đề:	electrochemical micromachining surface microstructures micro letters
Truy cập trực tuyến:	https://www.mdpi.com/2072-666X/11/10/948
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!