A Heterodyne Interferometer for Simultaneous Measurement of Roll and Straightness
A heterodyne interferometer for simultaneous measurement of roll and straightness is proposed for precision linear stages. In the interferometer, the roll and vertical or horizontal straightness are both directly calculated from the phase difference between the measurements and reference signals. Th...
சேமிக்கப்பட்டது:
| முதன்மை ஆசிரியர்கள்: | , , , , |
|---|---|
| வடிவம்: | Artigo |
| மொழி: | Inglês |
| வெளியிடப்பட்டது: |
IEEE
2019-01-01
|
| தொடர்: | IEEE Access |
| பொருள்கள்: | |
| ஆன்லைன் அணுகல்: | https://ieeexplore.ieee.org/document/8842566/ |
| குறிச்சொற்கள்: |
டாக்ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!
|