Direct phase-compensation method of piezoelectric resonant MEMS scanners through control of driving signal phase and duty cycle

Piezoelectric actuators are integral to microelectromechanical systems (MEMS) scanners, but phase errors can impair laser scanning accuracy. This study addresses these errors through direct compensation methods, eliminating the need for embedded phase-detection sensors, which complicate fabrication...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية

المؤلفون الرئيسيون:	Yuki Okamoto, Rihachiro Nakashima, Ryo Oda, Kei Ohara, Soya Sato, Sucheta Gorwadkar, Hironao Okada, Yusuke Takei
التنسيق:	Artigo
اللغة:	Inglês
منشور في:	IOP Publishing 2025-01-01
سلاسل:	Applied Physics Express
الموضوعات:	MEMS micromirror piezoelectric actuator phase control
الوصول للمادة أونلاين:	https://doi.org/10.35848/1882-0786/ae2563
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!