Patterning Techniques in Coplanar Micro/Nano Capacitive Sensors
Rapid technological advancements have led to increased demands for sensors. Hence, high performance suitable for next-generation technology is required. As sensing technology has numerous applications, various materials and patterning methods are used for sensor fabrication. This affects the charact...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , |
|---|---|
| التنسيق: | Artigo |
| اللغة: | Inglês |
| منشور في: |
MDPI AG
2023-10-01
|
| سلاسل: | Micromachines |
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://www.mdpi.com/2072-666X/14/11/2034 |
| الوسوم: |
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|