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Plasma-activated high-strength non-isothermal anodic bonding for efficient fabrication of the micro atomic vapor cells

Microfabricated alkali metal vapor cells are the core components for miniaturizing quantum devices, such as atomic clocks, atomic gyroscopes, and atomic magnetometers. Alkali metals are prone to thermal migration at the bonding interface during the sealing of the vapor cell, which leads to bonding f...

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Detalhes bibliográficos
Principais autores: Mingzhi Yu, Yao Chen, Yanbin Wang, Yintao Ma, Guoxi Luo, Shun Lu, Libo Zhao, Ping Yang, Qijing Lin, Zhuangde Jiang
Formato: Artigo
Idioma:Inglês
Publicado em: Elsevier 2023-11-01
coleção:Journal of Materials Research and Technology
Assuntos:
Acesso em linha:http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S223878542302478X
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