Anchor Loss Reduction in Micro-Electro Mechanical Systems Flexural Beam Resonators Using Trench Hole Array Reflectors
The quality factor of microelectromechanical resonators is a crucial performance metric and has thus been the subject of numerous studies aimed at maximizing its value by minimizing the anchor loss. This work presents a study on the effect of elastic wave reflectors on the quality factor of MEMS cla...
சேமிக்கப்பட்டது:
| முதன்மை ஆசிரியர்கள்: | , , , |
|---|---|
| வடிவம்: | Artigo |
| மொழி: | Inglês |
| வெளியிடப்பட்டது: |
MDPI AG
2023-10-01
|
| தொடர்: | Micromachines |
| பொருள்கள்: | |
| ஆன்லைன் அணுகல்: | https://www.mdpi.com/2072-666X/14/11/2036 |
| குறிச்சொற்கள்: |
டாக்ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!
|