Влияние параметров ионного осаждения в импульсном режиме на характеристики алмазоподобного покрытия
Теоретически исследуется осаждение алмазоподобного покрытия в импульсном режиме, в котором осаждаемый поток ионов плазменной среды с энергией E0 ~ (20÷200) эВ модифицируется путем наложения импульсного потенциала U ≤ 1000 В. Показано, что внутренние напряжения в алмазоподобном покрытии (АПП) при имп...
Kaydedildi:
| Asıl Yazarlar: | , , |
|---|---|
| Materyal Türü: | Artigo |
| Dil: | Inglês |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
V.N. Karazin Kharkiv National University Publishing
2012-11-01
|
| Seri Bilgileri: | East European Journal of Physics |
| Konular: | |
| Online Erişim: | http://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/13679 |
| Etiketler: |
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|