MEMS-Based Pulse Wave Sensor Utilizing a Piezoresistive Cantilever
This paper reports on a microelectromechanical systems (MEMS)-based sensor for pulse wave measurement. The sensor consists of an air chamber with a thin membrane and a 300-nm thick piezoresistive cantilever placed inside the chamber. When the membrane of the chamber is in contact with the skin above...
Збережено в:
| Автори: | , , , , , |
|---|---|
| Формат: | Artigo |
| Мова: | Inglês |
| Опубліковано: |
MDPI AG
2020-02-01
|
| Серія: | Sensors |
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | https://www.mdpi.com/1424-8220/20/4/1052 |
| Теги: |
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|