Miniaturized Wide-Range Field-Emission Vacuum Gauge
Miniaturized vacuum gauges (MVGs) for the measurement range 5.7x10-7 to 1.1x10-2 mbar were fabricated in a selfaligned approach using focused ion beam (FIB) nanomachining and reactive ion etching (RIE). The MVG consists of two properly insulated electrodes integrated on top of an atomic force micros...
சேமிக்கப்பட்டது:
| முதன்மை ஆசிரியர்கள்: | , , , |
|---|---|
| வடிவம்: | Artigo |
| மொழி: | Inglês |
| வெளியிடப்பட்டது: |
SAGE Publishing
2014-11-01
|
| தொடர்: | Nanomaterials and Nanotechnology |
| பொருள்கள்: | |
| ஆன்லைன் அணுகல்: | http://www.intechopen.com/journals/nanomaterials_and_nanotechnology/miniaturized-wide-range-field-emission-vacuum-gauge |
| குறிச்சொற்கள்: |
டாக்ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!
|
