ZnO Thin Films Growth Optimization for Piezoelectric Application

The piezoelectric response of ZnO thin films in heterostructure-based devices is strictly related to their structure and morphology. We optimize the fabrication of piezoelectric ZnO to reduce its surface roughness, improving the crystalline quality, taking into consideration the role of the metal el...

תיאור מלא

מידע ביבליוגרפי

Principais autores:	Vincent Polewczyk, Riccardo Magrin Maffei, Giovanni Vinai, Matteo Lo Cicero, Stefano Prato, Pietro Capaldo, Simone Dal Zilio, Alessandro di Bona, Guido Paolicelli, Andrea Mescola, Sergio D’Addato, Piero Torelli, Stefania Benedetti
פורמט:	Artigo
שפה:	Inglês
יצא לאור:	MDPI AG 2021-09-01
סדרה:	Sensors
נושאים:	surface roughness piezoelectricity crystallinity magnetron sputtering metal electrodes ZnO
גישה מקוונת:	https://www.mdpi.com/1424-8220/21/18/6114
תגים:	הוספת תג אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!