Full-scale evaluation of FFU configurations in an optical cleanroom injection molding for improving thermal performance and contaminant removal
Cleanrooms are critical in the semiconductor industry, particularly for optical fabrication, where even minor contamination can compromise product quality. Effective airflow and uniform airflow distribution help to prevent contaminant accumulation, mitigate temperature variations, and avoid cross-co...
Պահպանված է:
| Հիմնական հեղինակներ: | , , , |
|---|---|
| Ձևաչափ: | Artigo |
| Լեզու: | Inglês |
| Հրապարակվել է: |
Elsevier
2024-09-01
|
| Շարք: | Case Studies in Thermal Engineering |
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S2214157X24011079 |
| Ցուցիչներ: |
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|