A 3-Degree-of-Freedom MEMS Mirror with Controllable Static and Dynamic Motion for Beam Steering
A 3 Degree-of-Freedom (DOF) MEMS mirror is presented which can direct the light beam on an objective point and also operate in a continuous resonance 2 DOF mode. The micro-mirror is actuated by Lorentz force and has 4 actuators embedded in 4 sides of a square mirror. By enabling the actuators, diffe...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , |
|---|---|
| التنسيق: | Artigo |
| اللغة: | Inglês |
| منشور في: |
MDPI AG
2018-12-01
|
| سلاسل: | Proceedings |
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://www.mdpi.com/2504-3900/2/13/938 |
| الوسوم: |
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|