Integrated Resonant Micro/Nano Gravimetric Sensors for Bio/Chemical Detection in Air and Liquid
Resonant micro/nanoelectromechanical systems (MEMS/NEMS) with on-chip integrated excitation and readout components, exhibit exquisite gravimetric sensitivities which have greatly advanced the bio/chemical sensor technologies in the past two decades. This paper reviews the development of integrated M...
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| Principais autores: | , , |
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| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Inglês |
| Publicado em: |
MDPI AG
2021-05-01
|
| coleção: | Micromachines |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | https://www.mdpi.com/2072-666X/12/6/645 |
| Tags: |
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