Integrated Lab-on-a-Chip Optical Biosensor Using Ultrathin Silicon Waveguide SOI MMI Device

Waveguides with sub-100 nm thickness offer a promising platform for sensors. We designed and analyzed multimode interference (MMI) devices using these ultrathin platforms for use as biosensors. To verify our design methodology, we compared the measured and simulated spectra of fabricated 220-nm-thic...

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Detalhes bibliográficos

Principais autores:	Mohamed Y. Elsayed, Sherif M. Sherif, Amina S. Aljaber, Mohamed A. Swillam
Formato:	Artigo
Idioma:	Inglês
Publicado em:	MDPI AG 2020-09-01
coleção:	Sensors
Assuntos:	optical biosensors ultrathin silicon waveguides multimode interference
Acesso em linha:	https://www.mdpi.com/1424-8220/20/17/4955
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