Fabrication of Hexagonal Microlens Arrays on Single-Crystal Silicon Using the Tool-Servo Driven Segment Turning Method

Single-crystal silicon microlens arrays are increasingly required in advanced infrared optics. In this study, the authors attempted to fabricate hexagonal microlens arrays, which offer high optical efficiency, on a single-crystal silicon wafer using diamond turning. A tool-servo driven segment turni...

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Detalhes bibliográficos

Principais autores:	Mao Mukaida, Jiwang Yan
Formato:	Artigo
Idioma:	Inglês
Publicado em:	MDPI AG 2017-10-01
coleção:	Micromachines
Assuntos:	single-crystal silicon ultraprecision cutting slow tool servo microlens array Infrared optics ductile machining
Acesso em linha:	https://www.mdpi.com/2072-666X/8/11/323
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