Design and Characterization of a Planar Micro-Conveyor Device Based on Cooperative Legged Piezoelectric MEMS Resonators
This paper reports the design, fabrication, and performance of a hybrid piezoelectric planar micro-conveyor based on Micro-Electromechanical Systems (MEMS) bridge resonators and featuring 3D-printed vertical legs. The device includes two cooperating silicon plate resonators with an area of 5 × 1 mm<...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
MDPI AG
2022-07-01
|
| Loạt: | Micromachines |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://www.mdpi.com/2072-666X/13/8/1202 |
| Các nhãn: |
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|