Advanced nanoscale ulsi interconnects fundamentals and applications /
Advanced Nanoscale ULSI Interconnects: Fundamental and Applications brings a comprehensive description of copper based interconnect technology for Ultra Large Scale Integration (ULSI) technology to Integrated Circuit (ICs) application. This book reviews the basic technologies used today for the copp...
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Autor principal: | |
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Formato: | Livro |
Idioma: | Inglês |
Publicado em: |
Springer New York,
2009
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Edição: | 1st ed. |
Assuntos: | |
Acesso em linha: | https://minerva.ufrj.br/F/?func=direct&doc_number=000904064&local_base=UFR01 |
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