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Advanced nanoscale ulsi interconnects fundamentals and applications /

Advanced Nanoscale ULSI Interconnects: Fundamental and Applications brings a comprehensive description of copper based interconnect technology for Ultra Large Scale Integration (ULSI) technology to Integrated Circuit (ICs) application. This book reviews the basic technologies used today for the copp...

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Detalhes bibliográficos
Autor principal: Shacham-Diamand, Yosi
Formato: Livro
Idioma:Inglês
Publicado em: Springer New York, 2009
Edição:1st ed.
Assuntos:
Acesso em linha:https://minerva.ufrj.br/F/?func=direct&doc_number=000904064&local_base=UFR01
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