Mo/Si multilayer-coated amplitude-division beam splitters for XUV radiation sources

Tekijä Sobierajski, Ryszard, Loch, Rolf Antonie, van de Kruijs, Robbert W. E., Louis, Eric, von Blanckenhagen, Gisela, Gullikson, Eric M., Siewert, Frank, Wawro, Andrzej, Bijkerk, Fred
Julkaistu 2013