Загрузка...

Organoselenium Precursors for Atomic Layer Deposition

[Image: see text] Organoselenium compounds with perspective application as Se precursors for atomic layer deposition have been reviewed. The originally limited portfolio of available Se precursors such as H(2)Se and diethyl(di)selenide has recently been extended by bis(trialkylsilyl)selenides, bis(t...

Полное описание

Сохранить в:
Библиографические подробности
Опубликовано в: :ACS Omega
Главные авторы: Charvot, Jaroslav, Zazpe, Raul, Macak, Jan M., Bureš, Filip
Формат: Artigo
Язык:Inglês
Опубликовано: American Chemical Society 2021
Online-ссылка:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7970478/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/33748567
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1021/acsomega.1c00223
Метки: Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!