Zhao, J., Konh, M., & Teplyakov, A. (2018). Surface Chemistry of Thermal Dry Etching of Cobalt Thin Films Using Hexafluoroacetylacetone (hfacH). Appl Surf Sci.
Citação norma ChicagoZhao, Jing, Mahsa Konh, and Andrew Teplyakov. "Surface Chemistry of Thermal Dry Etching of Cobalt Thin Films Using Hexafluoroacetylacetone (hfacH)." Appl Surf Sci 2018.
Citação norma MLAZhao, Jing, Mahsa Konh, and Andrew Teplyakov. "Surface Chemistry of Thermal Dry Etching of Cobalt Thin Films Using Hexafluoroacetylacetone (hfacH)." Appl Surf Sci 2018.
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