Đang tải...
A data mining approach for analyzing semiconductor MES and FDC data to enhance overall usage effectiveness (OUE)
Wafer fabrication is a complex and lengthy process that involves hundreds of process steps with monitoring numerous process parameters at the same time for yield enhancement. Big data is automatically collected during manufacturing processes in modern wafer fabrication facility. Thus, potential usef...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
Springer
2014-07-01
|
| Loạt: | International Journal of Computational Intelligence Systems |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://www.atlantis-press.com/article/25868570.pdf |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|